В настоящее время ни один из выпускаемых растровых электронных микроскопов не позволяет сколько-нибудь точно измерять размеры нанообъекта по направлениям, не лежащим в плоскости проекции. Но даже в плоскости проекций переход от размеров изображения к истинным размерам объекта – сложная и не всегда решаемая задача. Следовательно, ни один современный РЭМ не пригоден для контроля в нанообласти, где свойства зависят от размеров объекта по направлениям и огранки (габитуса). Именно на решение задачи определения истинных размеров объекта по направлениям и его габитуса направлено предлагаемое решение. Это первое физически реальное предложение в мировой практике, что подтверждено заключениями экспертов.
English