Создан раздел, посвященный решению проблемы выходного контроля в нанотехнологиях с использованием методов растровой электронной микроскопии (SEM). Приведено научное обоснование предлагаемого решения, описаны основные принципы подхода, рассморены возможные технологические риски.
Language
- Русский
English